Магнетронного напыления
Официальное название:

Научно-исследовательская лаборатория магнетронного напыления (НИЛ МН)

Научный руководитель:

Доцент кафедры электромеханики Фаттахов Р.К.

Основные исполнители:

Основные исполнители:

  • Хайруллин И.Х., профессор кафедры электромеханики;
  • Максудов Д.В., доцент кафедры электромеханики;
  • Дьяконов А.Г., старший преподаватель кафедры электромеханики.
Сфера деятельности:

Основные направления деятельности НИЛ МН:

  1. проведение учебных лабораторных занятий со студентами с использованием имеющегося на кафедре электромеханики высокотехнологичного оборудования: установки вакуумного напыления УВН-75, магнетронов различных типов, течеискателей, контрольно-измерительной техники;
  2. проведение исследований с материалами мишеней для магнетронов различных типов, применяемых в установке вакуумного напыления УВН – 75;
  3. повышение энергетической эффективности существующих магнетронных систем путем сочетания постоянной и переменной составляющих магнитного поля;
  4. участие в разработке, внедрении и наладке высокотехнологичного, энергосберегающего и энергоэффективного оборудования для проведения фундаментальных исследований с выходом на практические работы по созданию пилотного образца магнетронной распылительной системы с целью повышения термо-, износо-, коррозионной стойкости элементов авиационных двигателей нового поколения на объектах заказчиков согласно гражданско-правовым договорам.
В соответствии с основными направлениями деятельности НИЛ МН имеет право выполнять научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы по договорам с предприятиями. НИЛ МН осуществляет свою деятельность в соответствии с действующим законодательством Российской Федерации и Республики Башкортостан, уставом УГАТУ, Положением о НИЧ УГАТУ и Положением о НИЛ МН.
Опыт реализации научно-технических разработок

На кафедре электромеханики ведутся работы по исследованию процессов, происходящих в скрещенных электрическом и магнитном полях в статическом и динамическом режимах. Разработаны математические модели соответствующих процессов и проведены экспериментальные исследования с созданными опытными образцами магнетронов, в том числе, численные эксперименты.

Имеется значительный научный задел по соответствующей тематике.

В рамках выполненных работ совместно с ОАО «УМПО» получены следующие результаты: теоретически обосновано получение адгезионного слоя (АС) между основой и теплозащитным слоем; подобраны режимы обработки (рабочее напряжение, предельный вакуум, ток разряда); разработана математическая модель процесса, позволяющая задавать траекторию движения лопатки относительно распылителя и получать приблизительно равные скорости осаждения связующего слоя для различных участков лопатки.

Перспективным является объединение в едином технологическом цикле процесса нанесения теплозащитного покрытия (ТЗП) способом электронно-лучевого испарения и адгезионного слоя способом магнетронного распыления. Это позволит снизить затраты на разработку технологии, повысить качество за счет ликвидации «узкого места» – границы ТЗП - жаростойкий подслой.

Кроме того, технология магнетронного распыления позволяет получить покрытие с плавно меняющейся по высоте теплопроводностью, что позволит снизить градиенты теплопроводности и коэффициентов термического расширения по высоте системы теплозащитного покрытия (СТЗП).

Достаточно плотная структура АС с мелким зерном, получаемого магнетронным распылением, затрудняет проникновение кислорода, преобразование оксидов на границе «керамика – подслой». Все это в совокупности позволит предотвратить скалывание ТЗП и повысить его долговечность.

    Высокотехнологичное и уникальное оборудование
    1. Установка вакуумного напыления УВН-75.
    2. Магнетроны различных типов.
    3. Течеискатели ТИ1-14.
    4. Контрольно-измерительная техника.
    Контактная информация

    Фаттахов Рамиль Касымович

    • Телефон:  (347) 273-77- 87;
    Сайт подразделения:  
    Местонахождение: г. Уфа, ул. К.Маркса 12, корпус 4, ауд. 208 (16 м2)